- Радиоэлектроника. Связь
- Метрология, стандартизация и сертификация
- Горная промышленность. Металлургия
- Энергетика
- Машиностроение. Приборостроение
- Автоматика. Вычислительная техника
- Транспорт
- Легкая промышленность
- Пищевая промышленность
- Полиграфия
- Строительство. Коммунальное хозяйство
- Робототехника и контроллеры
- Ремонт бытовых приборов
Процессы и оборудование микротехнологии Модули 1 и 2; Издательство МГТУ им. Н.Э.Баумана, 2018
от 115 р. до 1203 р.
- Издатель: Издательство МГТУ им. Н.Э.Баумана
- ISBN: 978-5-7038-4864-7
EAN: 9785703848647
- Книги: Электроника
- ID:7709894
Где купить (8)
Цена от 115 р. до 1203 р. в 8 магазинах
Магазин | Цена | Наличие |
---|---|---|
Описание
Дано описание общей последовательности процессов микротехнологии на примерах производства интегральных микросхем и кремниевого микродатчика давления. Рассмотрены основные этапы получения кремниевых монокристаллических пластин, ключевые операции микротехнологии - изготовление кремниевых пластин, оксидирование. Акцентировано внимание на взаимосвязи между свойствами материалов, структуры, устройством и электрическими характеристиками микроструктур. Рассмотрены физико-химические модели и методы анализа качества технологических процессов микротехнологии.
Для студентов МГТУ им. Н. Э. Баумана, обучающихся по направлениям "Электроника и наноэлектроника" и "Наноинженерия".
Смотри также о книге.
О книге
Параметр | Значение |
---|---|
Автор(ы) | Цветков Юрий Борисович |
Издатель | Издательство МГТУ им. Н.Э.Баумана |
Год издания | 2018 |
Возрастные ограничения | 12 |
Кол-во страниц | 124 |
Страниц | 122 |
ISBN | 978-5-7038-4864-7 |
Размеры | 16,50 см × 23,50 см × 0,70 см |
Формат | 165x235мм |
Тематика | Автоматика. Телемеханика |
Тираж | 100 |
Обложка | мягкая обложка |
Раздел | Радиоэлектроника |
Количество страниц | 122 |
Вес | 0.21кг |
Отзывы (0)
Добавить отзыв
Книги: Электротехника. Электроника - издательство "Издательство МГТУ им. Н.Э.Баумана"
Категория 92 р. - 138 р.
Книги: Электротехника. Электроника
Категория 92 р. - 138 р.