Труды ФТИАН. Том 27. Квантовые компьютеры, микро- и наноэлектроника. Физика, технология; Наука, 2018

Издатель: Наука
ISBN: 978-5-02-040089-4
EAN: 9785020400894
Книги: Электротехника. Электроника
ID:2439830

Где купить

Рейтинг:

(0/5)

Отзывы (0) Оставить отзыв

Описание Характеристики Цены Отзывы (0)

Где купить

Последняя известная цена от 369 р. до 886 р. в 3 магазинах

В данный момент у нас нет информации о наличии данного товара в магазинах.
Вы можете поискать его на других площадках:

Магазин	Цена	Наличие
Avito 5/5 ООО КЕХ еКоммерц ИНН: 7710668349	Avito доставка позволит получить любой товар, не выходя из дома

История цены
Магазин	Последняя известная цена	Обновлено
Лабиринт	406 р.	08.04.2024
Яндекс.Маркет	886 р.	21.03.2024
МАЙШОП	369 р.	20.03.2024

Описание

Монографический сборник представляет теоретические и экспериментальные результаты, полученные сотрудниками Института в области физики, моделирования и технологий передовых нанотранзисторных структур для логических интефальных схем (УБИС). наноструктур для твердотельных генераторов терагерцового диапазона частот. Представлены исследования ключевых технологических процессов изготовления таких приборов с критическими размерами 11-32 нм: электронно-лучевой литографии, плазменного нано-структурирования, атомно-слоевого осаждения диэлектриков и металлов. Приводятся результаты в области микроструктурирования пористых low-k диэлектриков для систем многоуровневой металлизации. Большинство исследований проведено в рамках Программы ФНИ ФАНО России.

Для специалистов в области микро- и наноэлектроники, аспирантов и студентов старших курсов соответствующих специальностей.

Смотри также о книге.

О книге

Параметр	Значение
Издатель	Наука
Год издания	2018
ISBN	978-5-02-040089-4
Размеры	70x100/16
Обложка	мягкая обложка
Язык издания	rus
Кол-во страниц	138