- Метрология, стандартизация и сертификация
- Горная промышленность. Металлургия
- Энергетика
- Машиностроение. Приборостроение
- Автоматика. Вычислительная техника
- Транспорт
- Легкая промышленность
- Пищевая промышленность
- Полиграфия
- Строительство. Коммунальное хозяйство
- Электротехника. Электроника
- Робототехника и контроллеры
- Ремонт бытовых приборов
О книге: Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография - процессы и оборудование; ИД Интеллект, 2016
3006 р.
- Издатель: Интеллект групп
- ISBN: 978-5-91559-215-4
- Книги: Радиоэлектроника. Связь
- ID:1764662
О книге
Параметр | Значение |
---|---|
Автор(ы) | Киреев Валерий Юрьевич |
Издатель | ИД Интеллект |
Год издания | 2016 |
Кол-во страниц | 320 |
Переплет | Твердая глянцевая |
Возрастные ограничения | 12 |
Страниц | 320 |
Переплёт | твердый |
ISBN | 978-5-91559-215-4 |
Размеры | 14,50 см × 21,60 см × 2,00 см |
Формат | 145x216мм |
Тематика | Автоматика. Телемеханика |
Раздел | Радиоэлектроника |
Количество страниц | 320 |
Вес | 0.52кг |
Где купить (1)
Цена от 3006 р. до 3006 р. в 1 магазинах
Магазин | Цена | Наличие |
---|---|---|
Магазин | Последняя известная цена | Обновлено |
---|---|---|
Лабиринт | 2549 р. | |
book24 | 1584 р. | 06.10.2022 |
Буквоед | 1599 р. | 08.10.2022 |
Описание
В учебно-справочном руководстве проведен анализ возможностей, особенностей, ограничений и областей применения различных литографических и нелитографических методов наноструктурирования для создания топологии ИС с элементами субстонанометрового диапазона. Показаны основные физические и химические механизмы и ограничения, лежащие в основе оптической нанолитографии, нанолитографии на экстремальном ультрафиолете, наноимпринт литографии, электронной нанолитографии и вакуумного газоплазменного травления.
Приведено современное производственное оборудование различных видов нанолитографии, его операционные и конструкционно-технологические параметры, технологические и экономические характеристики реализуемых процессов.
Руководство для университетов с обучением по специальностям: 210601 "Нанотехнология в электронике", 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника", 222900 "Нанотехнология и микросистемная техника", 210600 "Нанотехнология", 210100 "Электронное машиностроение", а также для инженеров и научных работников.
Смотри также о книге.
Отзывы (0)
Добавить отзыв
Книги: Радиоэлектроника. Связь - издательство "Интеллект групп"
Книги: Радиоэлектроника. Связь
Категория 2404 р. - 3607 р.